ההכנסות מ-ASML בשנה האחרונה הסתכמו ב-28.26 B EUR, כאשר רובן — 9.67 B EUR — הגיע מהמקור עם הביצועים הגבוהים ביותר נכון לעכשיו, Argon Fluoride Immersion, השנה הקודמת מביאה את 9.02 B EUR. את התרומה הגדולה ביותר לנתון ההכנסות תרמה סין - בשנה שעברה היא הביאה את ASML 10.20 B EUR, ובשנה שקדמה לכך - 7.25 B EUR.