תזרים המזומנים החופשי של ASML1/N עבור Q1 24 הוא -12.04 B MXN. עבור 2023, תזרים המזומנים החופשי של ASML1/N היה 60.37 B MXN ותזרים המזומנים התפעולי היה 99.96 B MXN.